AWL系列晶圓檢查系統兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合在前道到后道工程的晶圓檢查。
目前，AWL系列晶圓搬運機擁有AWL046、AWL068，AWL812三種種機型，分別可適用于 4/6 英寸晶圓檢測，6/8 英寸晶圓檢測，8/12英寸晶圓檢測，其適應范圍廣，且搭配靈活 ，可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計，操作舒適、簡便。
AWL系列晶圓檢查系統優勢
●360°宏觀檢查
AWL 系列晶圓檢查系統具有宏觀檢查手臂，可以實現晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1的360°旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度≤70°，晶背1傾斜角度≤90°，晶背2傾斜角度≤160°，利用旋轉功能、傾斜 角度，完全可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
●人機工程學設計
晶圓檢查系統的LCD顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調試參數一目了然。
晶圓檢查系統的手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。
晶圓缺陷檢查應用案例
AWL系列晶圓檢查系統技術規格
型號 | AWL046 | AWL068 | |
晶圓尺寸（SEMI 規格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圓最小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 開放式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒數量 | 1 Port | ||
檢查模式設置 | 全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇 | ||
片盒內晶圓掃描 | ● | ● | |
晶圓預定位 | ● | ● | |
晶圓定位 | 非接觸式定位平邊 /V 型槽，支持 0°、90°、180°、270°朝向設置 | ||
檢查功能 | 微觀檢查 | ● | ● |
晶面宏觀檢查 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 1 | ● | ● | |
晶背宏觀檢查 2 | ● | ● | |
適配顯微鏡 | SOPTOP金相顯微鏡MX68R | ||
載物臺 | 6 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 ；移動行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 觀 察 范 圍 ： | 8 英寸四層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同 軸調節 ；晶圓承片臺，可 360°旋轉 , 移動行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）觀察范圍 ： | |
電源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
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